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電気・電子工学基礎シリーズ 11 プラズマ理工学基礎
内容紹介
物質の第4状態であるプラズマの性質,基礎的手法やエネルギー・材料・バイオ工学などの応用に関して図を多用し平易に解説した教科書。〔内容〕基本特性/基礎方程式/静電的性質/電磁的性質/生成の原理/生成法/計測/各種プラズマ応用
物質の第4状態であるプラズマの性質,基礎的手法やエネルギー・材料・バイオ工学などの応用に関して図を多用し平易に解説した教科書。〔内容〕基本特性/基礎方程式/静電的性質/電磁的性質/生成の原理/生成法/計測/各種プラズマ応用