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朝倉電気電子工学大系 5 結晶成長
西永 頌(著)
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内容紹介
トランジスタやレーザー等を支える基盤技術である結晶成長のメカニズムを第一人者が詳しく解説。〔内容〕準備/結晶の表面/核形成/表面拡散と結晶成長/安定性/巨大ステップ/結晶面間の表面拡散/偏析/MCE/宇宙での成長/他
編集部から
【祝・赤﨑勇先生ノーベル物理学賞受賞】
「赤﨑研究門下生の一番古手」(自己紹介、名城大学HPより)の西永先生のご著書です。赤﨑先生によれば研究成果は西永先生との切磋琢磨の賜物とのこと。ぜひご一読ください。
目次
1 結晶成長と現代社会
1.1 結晶成長はどのように役に立ってきたか
1.2 学問としての結晶成長
2 結晶成長を理解するための準備
2.1 熱・統計力学の初歩
2.1.1 内部エネルギーとエントロピー
2.1.2 自由エネルギー
2.2 結晶とは何か
2.2.1 格子と結晶
2.2.2 結晶の面指数
2.2.3 代表的な結晶欠陥
2.2.4 結晶の多形
3 結晶の表面
3.1 結晶の表面エネルギーと平衡時における結晶の外形
3.2 平らな面と荒れた面
3.2.1 GilmerとJacksonによるモンテカルロシミュレーション
3.2.2 平衡における表面の構造
3.2.3 自然界における類似な現象
3.2.4 Jacksonモデルによる平坦な面と荒れた面の間の遷移
3.2.5 Temkinによる多層界面モデル
4 核形成
4.1 核形成の考え方
4.2 核形成の熱力学
4.3 臨界核
4.3.1 ある水蒸気圧のもとで平衡な水滴
4.3.2 非平衡核形成の自由エネルギー
4.4 核形成速度
4.4.1 3次元核
4.4.2 2次元核
4.5 核生成のモンテカルロシミュレーション
4.6 実験による核形成の観察
4.6.1 分子線エピタキシと反射高速電子線回折の実時間観察
4.6.2 高分解能電子顕微鏡によるその場観察
5 表面拡散と結晶成長
5.1 らせん転位と結晶成長
5.1.1 らせんステップと過飽和比
5.1.2 BCF理論における前提
5.1.3 ステップ間における表面拡散
5.1.4 ステップの移動速度
5.2 らせん転位による成長のモンテカルロシミュレーション
5.3 分子線エピタキシにおける表面拡散
5.3.1 ステップ間における成長原子の分布
5.3.2 ステップ基板における2次元核成長とステップフロー成長
5.4 有機金属気相成長法における表面拡散
6 成長形態の安定性
6.1 成長表面の安定性に関する古典論
6.2 摂動法を用いた成長表面の安定・不安定解析―Mullins-Sekerka理論
7 巨大ステップ
7.1 巨大ステップとは何か
7.2 巨大ステップの形成メカニズム
7.3 巨大ステップの理論的解析
7.4 巨大ステップの界面濃度分布と過飽和度分布
7.5 巨大ステップと不純物分布
7.6 巨大ステップと宇宙実験
7.7 シリコン融液成長における巨大ステップの形成
8 結晶面間の表面拡散
8.1 結晶成長によるマイクロ・ナノ構造
8.2 面間拡散と結晶に取り込まれるまでの拡散距離
8.3 面間拡散方向の逆転現象
8.4 面間拡散を利用したマイクロ・ナノ構造の制御
8.5 形態制御の理論解析
9 偏析
9.1 平衡偏析
9.2 平衡偏析が行われている場合の成長結晶内の不純物分布
9.2.1 融液側の攪拌が完全で不純物分布が均一である場合
9.2.2 融液側では攪拌がなく,不純物が濃度拡散で支配されている場合
9.2.3 固液界面に境界層が形成されている場合
9.3 非平衡偏析
10 マイクロチャネルエピタキシ
10.1 マイクロチャネルエピタキシの考え方
10.2 マイクロチャネルエピタキシの発想の原点
10.3 水平マイクロチャネルエピタキシ
10.3.1 液相エピタキシャル成長によるマイクロチャネルエピタキシ
10.3.2 分子線エピタキシによるマイクロチャネルエピタキシ
10.3.3 シリコン基板上へのGaAsおよびInPのマイクロチャネルエピタキシ
10.4 垂直マイクロチャネルエピタキシ
11 宇宙における結晶成長
11.1 微小重力とは何か
11.2 微小重力実験の意味
11.3 半導体の微小重力実験
11.3.1 TR-IAロケットによるゲルマニウムの融液成長実験
11.3.2 回収型科学衛星によるGaSbのブリッジマン成長
11.3.3 FMPTによるシリコン球結晶成長
11.4 宇宙実験の今後
付録
A 平衡形と成長形
A.1 結晶の平衡形
A.2 結晶の成長形
B Zeldovich因子
B.1 3次元核形成におけるZeldovich因子
B.2 2次元核形成におけるZeldovich因子
参考文献
索引




























